成分分析EDX主要用途
观察样品表面微观形貌,进行尺寸及深度进行测量,能谱元素分析。
成分分析EDX性能参数
a)二次电子分辨率:1.0nm(加速电压15kV,WD=4mm)
b)放大倍数 100~800000(照片倍率);
400~2000000(实际显示倍率)
成分分析EDX应用范围
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析;
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示;
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位,提供异常分析之判断;
4.样品借由层次去除技术(Delayers),提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件,可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结,提供电路还原逆向工程之参考
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成分分析EDX
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关键词: 成分 EDX EDS 失效分析 半导体芯片
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